Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки
Нарайкин О.С., Холевин В.В., Данилов И.И., Шалаев В.А.
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяе- мые в технологии изготовления микросистем: объемная микрооб- работка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приве- дены сведения о материалах, применяемых в микросистемной тех- нике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специально- стей.;Гриф:Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия
Anno:
2010
Casa editrice:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Lingua:
russian
Pagine:
36
File:
PDF, 3.63 MB
IPFS:
,
russian, 2010
Litres
Vuole aggiungere una libreria? Contattaci su support@z-lib.do
Converti i file
Più risultati di ricerca
Altri vantaggi 
